實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)氣體管路

實(shí)驗(yàn)室供氣管路系統(tǒng)工程主要是為試實(shí)驗(yàn)室選用的分析設(shè)備提供量值和壓力穩(wěn)定的標(biāo)準(zhǔn)氣體，保證其儲(chǔ)存和使用的安全性。保障分析測(cè)試人員在實(shí)驗(yàn)中免受有毒有害氣體的侵害。按照國標(biāo)要求，將所用全部氣體存放于儲(chǔ)氣間，并實(shí)現(xiàn)集中輸送，組成中央供氣系統(tǒng)。系統(tǒng)采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式輸氣方式，在一拖多時(shí)能夠?qū)崿F(xiàn)分段控制和在多拖一和多拖多時(shí)能夠?qū)崿F(xiàn)切換控制；并能夠保證標(biāo)準(zhǔn)氣體流量、壓力穩(wěn)定和量值傳遞不發(fā)生變化，滿足分析檢測(cè)設(shè)備對(duì)使用氣體的技術(shù)要求。④為防止倒流回火應(yīng)在用氣設(shè)備的支管上設(shè)置阻火器，在排入大氣的排氣管道上，為防止排氣時(shí)突遇雷電襲1擊阻止火焰蔓延至可燃?xì)怏w管道引發(fā)燃燒爆1炸事故，必須在排氣管道上設(shè)置阻火器。

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特種氣體的應(yīng)用

電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種，按危險(xiǎn)性質(zhì)可分為不燃?xì)怏w、可燃?xì)怏w、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。同時(shí)，當(dāng)?shù)叵酪?guī)范建議甚至要求將主要的氣體源如氣瓶、杜瓦瓶和液體儲(chǔ)槽放置在工作區(qū)外的指1定區(qū)域，然后將氣體通過管道系統(tǒng)輸送至試驗(yàn)室內(nèi)。

特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20～30種。

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電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏檢測(cè)規(guī)定

1、氦檢漏儀表應(yīng)采用質(zhì)譜型氦檢測(cè)儀，其檢測(cè)精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

2、特氣系統(tǒng)，內(nèi)向測(cè)漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;

3、閥座測(cè)漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;

4、外向測(cè)漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點(diǎn)經(jīng)修補(bǔ)后，應(yīng)重新經(jīng)過氣密性試驗(yàn)，合格后再按規(guī)定進(jìn)行氦檢漏。所有可能泄漏點(diǎn)應(yīng)用塑料袋進(jìn)行隔離。系統(tǒng)測(cè)試完畢，應(yīng)充入高純氮?dú)?，并進(jìn)行吹掃。測(cè)試完畢后，應(yīng)提交測(cè)試報(bào)告。

特種氣體鋼瓶在運(yùn)輸和儲(chǔ)存的注意事項(xiàng)

由于特種氣體產(chǎn)品的潛在危險(xiǎn)性，如氧氣遇油脂著火，氣瓶倒下使閥門拆斷引起飛瓶，惰性氣體引起窒息等等。所以在氣體使用、搬運(yùn)及儲(chǔ)存中應(yīng)注意的一些安全事項(xiàng)。

氣體鋼瓶在運(yùn)輸和裝卸過程中應(yīng)輕裝輕卸，嚴(yán)禁拋、滑、滾及劇烈碰撞。              

使用氣體前應(yīng)按要求將合格的減壓閥連接到氣瓶上，并清潔連接軟管。不同氣體的氣瓶使用時(shí)不要使用同一個(gè)減壓閥。

不應(yīng)在封閉空間內(nèi)用惰性氣體（如氮?dú)?、二氧化碳等）進(jìn)行實(shí)驗(yàn)分析、燒焊、低溫冷藏、吹除等等。  

燒焊時(shí)，應(yīng)對(duì)氣體及電氣采取適當(dāng)?shù)谋Ｗo(hù)措施。不要使用損壞的設(shè)備，如軟管、電纜及焊槍等。              

特種氣體氣瓶存放區(qū)應(yīng)比較干燥，并有良好通風(fēng)，嚴(yán)禁明火和其它熱源，嚴(yán)禁曝曬可燃?xì)馄炕蜓鯕馄扛浇鼑?yán)禁吸煙，氣瓶不應(yīng)接觸到火花、火焰、熱氣及電路。

在儲(chǔ)存、運(yùn)輸及使用杜瓦罐時(shí)不能使其臥倒，應(yīng)永遠(yuǎn)使杜瓦罐保持直立狀態(tài)。